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大幅提高液体过滤性能降低半导体和微电子制造成本——新式GORE过滤芯参展SEMICON China2010

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摘要 上海(2010年3月16日)W.L.Gore&Associates(戈尔公司)——膨体聚四氟乙烯(ePTFE)的发明者和膨体聚四氟乙烯工程材料的全球领袖,借助GORE?过滤芯的推出宣布了过滤技术的一项重大进步。该系列筒式过滤芯将在SEMICON China2010展会上正式亮相、继而引入中国市场。该产品采用新式高通量膨体聚四氟乙烯(ePTFE)过滤介质,其通量是目前市场同等精度最优过滤芯的三倍,同时不会牺牲过滤精度。
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期415-416,共2页 Semiconductor Technology
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