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集成门极换流晶闸管的工艺模拟

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摘要 主要介绍利用silvaco软件对集成门集换流晶闸管IGCT(Inregrated Gate Commutated Thyrister)进行工艺模拟。利用silvaco软件中的Athena对IGCT进行建模,并对工艺参数进行提取和优化,从而达到工艺要求。
作者 吴琳 宋恺
出处 《大众科技》 2010年第4期13-13,16,共2页 Popular Science & Technology
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参考文献5

二级参考文献8

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