半导体用超净试剂的种类和应用被引量：2

Ultrapure Reagent for Semiconductor and Its Application

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摘要评论了半导体用超净试剂的应用、种类、作用、纯度、检测方法和市场。 The ultxapure reagent for semiconductor and its application are reviewed.

作者俞亚君丁建良

机构地区无锡化工研究设计院

出处《化工时刊》 CAS 1998年第11期12-16,共5页 Chemical Industry Times

关键词超净试剂半导体试剂材料 ultrapure reagent, semiconductor

分类号 TN304 [电子电信—物理电子学]

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2胡长诚.国外过氧化氢制造技术发展近况[J].化学推进剂与高分子材料,1998(1):1-5. 被引量：7
3王海波,梁立娜,牟世芬,蔡亚岐.阀切换-离子色谱法测定高纯硼酸中的痕量阴离子[J].分析试验室,2009,28(7):13-16. 被引量：6
4陈艳,汪琼,叶明立.预浓缩技术离子色谱法测定硬盘部件表面痕量阴离子[J].现代科学仪器,2009,26(3):89-90. 被引量：1
5李莉,蒋文全,骆巨新,童坚,任小华,傅钟臻,周辉.小型氧化铝交换柱分离-电位滴定法测定氢氧化镍中硫酸根[J].分析试验室,1998,17(5):37-40. 被引量：8
6丁建良,俞亚君.半导体制造工艺用化学药品的现状和展望[J].化工新型材料,1998,26(11):3-7. 被引量：2
7张枫华,雷仲存,顾红琴.离子色谱法测定水中硫酸根离子浓度范围的探讨[J].冶金动力,2013(7):56-60. 被引量：12
8吕鹏,钟远,孟瑞英,孙柏,宋彭生.称量滴定法分析硫酸根含量[J].盐湖研究,2015,23(3):5-13. 被引量：10
9罗刚,黄兆龙,赖梦书.络合滴定法间接测定硫酸根浓度的条件研究[J].红河学院学报,2016,14(2):39-40. 被引量：3
10吴佳佳,全灿,李红梅,张庆合,黄挺,戴新华,杜然,鄢雄伟,金君素.高纯溶剂制备纯化及标准化研究[J].化学试剂,2016,38(12):1214-1218. 被引量：4

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1陈群来.高纯过氧化氢[J].无机盐工业,2000,32(4):22-24. 被引量：8
2赵艳,谢艳艳,高燕,徐锁平,白晓燕,徐青.离子色谱法测定电子工业用高纯盐酸中痕量硫酸根离子[J].冶金分析,2021,41(3):86-90. 被引量：3

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1栾国颜,高维平,姚平经.电子级过氧化氢的生产、市场和技术开发[J].化工科技市场,2004,27(10):9-11. 被引量：11
2林倩,耿建铭,江燕斌,钱宇.超纯过氧化氢制备中有机杂质的吸附净化技术进展[J].化工进展,2006,25(9):1031-1035. 被引量：3
3林倩,张菊,王晓芳,罗新兵.食品级过氧化氢的应用及其净化技术[J].食品科学,2006,27(10):626-629. 被引量：13
4刘飞,刘海,陶志,杨正光.电子级过氧化氢的纯化技术及其发展现状[J].磷肥与复肥,2012,27(1):10-12. 被引量：3
5于剑昆.电子工业用超高纯过氧化氢的制备工艺[J].化学推进剂与高分子材料,2014,12(2):1-24. 被引量：2
6陈群来.我国过氧化氢的生产和应用[J].现代化工,2001,21(1):11-14. 被引量：30
7王娜,周晓东,徐玲,梁亚玲,郭晶晶,王晶.丙硫醚中无机杂质含量分析研究[J].山西化工,2021,41(6):47-48.
8杨占强,张芳芳,韩春霞,郑洪国.非抑制型离子色谱法同时测定矿泉水中硼酸和偏硅酸[J].色谱,2023,41(12):1121-1126.
9赵艳,谢艳艳,白晓艳,高燕,付娜,陈雄飞,胡梦桥,张力久.电感耦合等离子体发射光谱法同时测定镨钕氧化物中氯和硫含量[J].分析试验室,2023,42(12):1683-1688. 被引量：1
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1文汉.半导体用高纯度药品[J].电子材料（机电部）,1991(11):8-10.
2李文洙.半导体用气的性质及其使用的注意事项[J].低温与特气,1983,1(1):65-71.
3奠铭.半导体用超薄介质膜的生长和特性[J].微电子学,1992,22(2):62-69.
4半导体用化学药品[J].山东半导体技术,1993(2):68-86.
5郑承献.半导体用化学品[J].化工时刊,1992(2):12-16.
6徐京生.半导体用化学药品[J].化工新型材料,1991,19(6):17-22.
7瓦克预计2014财年销售额和利润将均有增长[J].上海建材,2014(2):41-43.
8杨晓婵（摘译）.日本2005年半导体用单晶硅供需情况及2006年预测[J].现代材料动态,2006(6):12-13.
9杨晓婵（摘译）.全球主要多晶硅厂家生产情况[J].现代材料动态,2005(11):15-15.
10吕向英.半导体用石英制品的制造工艺和洗净[J].科技致富向导,2014(11):235-235.

化工时刊

1998年第11期

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