高温下合成氮化硅的研究

本实验采用的自行设计的高温流化床，利用流态化技术合成氮化硅粉。并研究了温度对硅粉床层流化特性的影响。随着温度的升高，床层流化所需的最小气速增大。氮化反应初期存在一定的反应诱导期，在转化率为20％40％时，反应比较剧烈。随后反应速度减缓，160min后反应速度基本不再变化。流态化技术的采用为实现常压条件下连续化生成氮化硅工艺提供了实验基础。