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椭偏仪测厚法的数值计算被引量：6

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摘要提供了一个实用的由椭偏参数求解薄膜厚度和折射率的计算程序．用复数乘、除法子程序解决复数的乘除运算，用差商代替解方程时需作的求导运算，大大简化了程序的编制工作．

作者浦天舒

机构地区中国纺织大学基础部

出处《纺织高校基础科学学报》 CAS 1998年第4期381-384,共4页 Basic Sciences Journal of Textile Universities

关键词薄膜厚度椭偏仪测定测厚法

分类号 O484.5 [理学—固体物理]

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纺织高校基础科学学报

1998年第4期

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