摘要
系统介绍了亚微米电子束曝光机激光工件台控制系统的结构组成以及工件台自校正ＰＩＤ定位控制系统的设计。
The constitution of the control system for laser positioning stage used in sub micron E beam exposure machine and the design of PID positioning and control system for automatic correction of the stage are presented in the paper.
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
1998年第3期45-48,共4页
Opto-Electronic Engineering
基金
"八五"攻关项目
关键词
电子束曝光机
精密定位
工件台
自动控制系统
Electron beam exposure devices,Precision positioning,Worktables,Automatic control systems.
