电子工业用气体系列标准

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摘要 1）GB／T14600--2009《电子工业用气体氧化亚氮》。规定了氧化亚氮的技术要求。试验方法以及包装、标志、贮运及安全。适用于电子工业中化学气相淀积工艺。与原标准GB/T 14600--1993相比主要变化如下：修改适用范围、规范性引用文件、技术指标内容，增加采样安全要求、尾气处理的要求；

作者吴世清

出处《化工生产与技术》 CAS 2010年第2期63-64,共2页 Chemical Production and Technology

关键词电子工业工业用原标准气体规范性引用文件化学气相淀积氧化亚氮技术指标

分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]

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