专利技术

硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺 本发明属于多晶硅技术领域，具体涉及硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺。过去，硅甲烷属特种气体，一般用于科学研究，需求量不大，目前，随着太阳能产业的迅猛发展，硅甲烷不仅提出了纯度的要求，而且需求量日益增大，传统小规模制取硅甲烷工艺操作复杂，成本高，生产效率低，反应放出的热不能及时散去，造成工艺安全低下，且在原料流加中造成硅烷和氨的泄漏，污染环境。