摘要
将LAS-2000型二次离子质谱仪改成研究第一壁材料及其涂层、新材料性能的重要实验设备。在HL-1M装置设计、安装和物理实验过程中,用该设备对HL-1M装置真空室用AISI304L不锈钢、第一壁用SMF-800石墨材料及HL-1M装置原位硼化、硅化涂层和SiC等涂层材料的真空热解释性能、吸氢性能和化学溅射性能进行了实验研究,并对装置主抽气扁管内壁的清洁度进行了监测。实验证明了原位硼化。
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1998年第A12期169-172,共4页
Vacuum Science and Technology