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利用半导体工艺制造的微透镜阵列及其应用 被引量:4

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摘要 近来,由于高科技的发展,出现了一种新颖的微透镜阵列。它与传统的光学透镜原理相同,但制造方法不同,是用半导体制造工艺中使用的光刻、离子交换等方法制造而成的微小透镜阵列,这种透镜阵列应用很广,是信息时代极重要的光信息处理关键器件之一。自1991年以来,有关微透镜阵列,召开了多次国际会议,并进行了国际标准化工作。笔者从事光学方面的研究工作已有多年,对国外同行业的发展也极为关注,
作者 张云熙
出处 《世界电子元器件》 1998年第10期64-65,共2页 Global Electronics China
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引证文献4

二级引证文献17

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