摘要
介绍了发生在双辉光离子渗金属技术中的双辉光交链增强型放电现象，分别采用交链等效电路法和微变等效电路法，对这种双辉光交链增强型放电现象进行了描述。
Double glow coupling induced discharge enhancement was observed in double glow discharge metal ion deposition. The discharge enhancement was described in terms of equivalent cirouits of both double glow coupling and infinitesimal vallation.
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1998年第1期15-21,共7页
Vacuum Science and Technology
基金
"八六三"工程资助
关键词
双辉光放电
离子渗金属
表面金属化
交链增强
Double glow discharge, Ion diffusing into metal, Plasma surface metallurgy
