期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
高级紫外准分子激光器加工
下载PDF
职称材料
导出
摘要
高能准分子激光器对于激光微加工来说具有极佳的灵活性,因为实际上每种加工的材料都应该具有准确高分辨率的材料烧蚀特性,并且不需要后续处理。紫外激光器直接输出需要的上转换能级的紫外(UV)光子很容易达到几百瓦的功率输出,这对于制造加工的高生产力和大规模生产是很关键的。特别是大平顶准分子激光的外形非常适合于两维和三维微加工的高效并行加工。还将介绍特别适合于材料烧蚀和表面活化的紧凑微加工概念。
作者
孔延梅
出处
《光机电信息》
2010年第4期12-17,共6页
OME Information
关键词
准分子激光器
激光微加工
紫外激光器
烧蚀特性
功率输出
大规模生产
三维微加工
高分辨率
分类号
TN248.22 [电子电信—物理电子学]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
1
李旭.
飞秒激光在微加工领域的应用研究[J]
.通讯世界(下半月),2016,0(3):247-247.
2
张启仁,蔡玉琴郭秦,洪伟,杨上金.
薄膜钯靶烧蚀特性的实验研究[J]
.强激光与粒子束,1995,7(1):146-150.
3
李永强,黄存友.
飞秒激光在微加工领域的研究及其应用[J]
.激光杂志,2013,34(4):3-5.
被引量:4
4
姜涛,赵清亮,樊荣伟,董志伟,于欣,李卫波.
飞秒激光在宽带隙陶瓷表面的烧蚀特性[J]
.红外与激光工程,2012,41(2):387-392.
被引量:3
5
龚莹,蒋中伟,周拥军,袁大军,黄文浩,李艳秋,夏安东.
飞秒激光双光子微细加工技术及研究现状[J]
.光学技术,2004,30(5):637-640.
被引量:6
6
蒋宏民,朱军,曹莹,陈翔,陈迪.
倾斜旋转紫外曝光在微针制备上的应用[J]
.上海交通大学学报,2010,44(8):1100-1102.
被引量:2
7
国外科技简讯[J]
.长岭技术,2004(1):57-62.
8
黄龙旺,杨春生,丁桂甫.
商品有机玻璃片微结构的深刻蚀研究[J]
.压电与声光,2003,25(3):249-251.
被引量:1
9
陈烽,杨青,边浩,杜广庆,柳克银,孟祥卫,邓泽方,山超.
飞秒激光湿法刻蚀微纳制造[J]
.应用光学,2014,35(1):150-154.
被引量:4
10
郑卜祥,姜歌东,王文君,梅雪松.
超快脉冲激光对钛合金的烧蚀特性与作用机理[J]
.西安交通大学学报,2014,48(12):21-28.
被引量:13
光机电信息
2010年 第4期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部