单分子积层膜制备技术
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7司磊,王玉霞,刘国军.光学薄膜制备技术[J].长春理工大学学报(自然科学版),2004,27(2):37-40. 被引量:6
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8崔朝宏.21世纪的硅基材料——SOI[J].新材料产业,2000(11):32-34.
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