Ar气流速和炉压对Si晶体中氧浓度的影响
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1徐玉忠.Ar气流速和炉压对Si晶体中氧浓度的影响[J].电子材料快报,1998(11):8-16.
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2低炉压强对流连续辊底式光亮退火技术[J].中国有色金属,2008(7):73-73.
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3贾全杰,蒋最敏,等.Si晶体中δ掺杂Sb原子的分布研究[J].北京同步辐射装置年报,1997(1):64-65.
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4杨晓婵.日本东京大学等开发出新型低耗电光调制器[J].现代材料动态,2015,0(1):2-3.
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5张德全.ATV610变频器在钢管厂风机节能方案中的应用[J].变频器世界,2016,0(9):92-94.
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6陈芸,田明均.变频器在蓄热步进加热炉风机上的应用[J].变频器世界,2005(4):108-109.
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7邓志杰.SOI集成中应变硅的外延工艺[J].现代材料动态,2005(5):4-6.
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8胡刚.采用Si离子植入在SiO2中合成纳米尺寸的Si晶体[J].等离子体应用技术快报,1997(10):17-18.
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9沈波,陈鹏,陈志忠,张荣,施毅,关口隆史,角野浩二.Si晶体中Cu和Fe杂质在Frank型位错上的不同沉淀行为[J].Journal of Semiconductors,1998,19(7):489-492.
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10邓志杰.RF-FZ晶体生长过程中Si熔体对流的研究 2.数值研究[J].现代材料动态,2000(10):18-18.
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