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双光束补偿准直系统被引量：6

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摘要本文提出一种新的双光束补偿准直系统。该补偿系统利用特殊的光路，当激光经过此光路后，产生两束对称输出光，当入射光发生角漂时，输出的两束光对称的上下漂移，其对称中心线保持不变，从而起到补偿作用，大大提高了准直准确度，其准直误差可≤２×１０－６量级。

作者刘兴占梁晋文陈博一花国梁何树荣

机构地区清华大学精密仪器系

出处《计量技术》北大核心 1999年第1期12-15,共4页 Measurement Technique

关键词准直系统双光束补偿激光补偿方法

分类号 TG83 [金属学及工艺—公差测量技术]

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计量技术

1999年第1期

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