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双光束补偿准直系统
被引量:
6
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摘要
本文提出一种新的双光束补偿准直系统。该补偿系统利用特殊的光路,当激光经过此光路后,产生两束对称输出光,当入射光发生角漂时,输出的两束光对称的上下漂移,其对称中心线保持不变,从而起到补偿作用,大大提高了准直准确度,其准直误差可≤2×10-6量级。
作者
刘兴占
梁晋文
陈博一
花国梁
何树荣
机构地区
清华大学精密仪器系
出处
《计量技术》
北大核心
1999年第1期12-15,共4页
Measurement Technique
关键词
准直系统
双光束补偿
激光
补偿方法
分类号
TG83 [金属学及工艺—公差测量技术]
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