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中国电科集团超声扫描显微镜填补国内空白
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摘要
近日,中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报共同评选出“第四届(2009年度)中国半导体创新产品和技术”36个项目。中国电子科技集团公司第45研究所研发的SSJ—100超声扫描显微镜荣获此奖项。
出处
《计算机测量与控制》
CSCD
北大核心
2010年第5期1229-1229,共1页
Computer Measurement &Control
关键词
中国电子专用设备工业协会
扫描显微镜
国内空白
超声
中国电子科技集团公司
填补
行业协会
电子材料
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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计算机测量与控制
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