摘要
一个典型等离子镀的系统和方法被公布。该系统包含了一个真空室,真空室内设置了一根细丝,从而可以在细丝上获得沉积物。该系统也包括:在真空室内设置一个固定位置的平台,基体固定在该平台上;直流电源提供直流信号;一个能产生射频信号的射频发射器;一个可以将电偶直流信号和射频信号输送到基体上的导电路径。将电源与细丝联结,使得电流通过细丝时的振幅在细丝上产生热量使金属沉积物熔化。
出处
《电镀与环保》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期48-48,共1页
Electroplating & Pollution Control