21世纪及1999年微电子技术展望

展望２１世纪及１９９９年微电子技术的发展。认为２１世纪初的微电子技术仍将以硅基ＣＭＯＳ电路为主流工艺，但将突破目前所谓的物理“限制”；集成系统将取代目前的集成电路得以迅速发展；微电子技术将与其它技术结合形成一系列新的增长点，微光机电系统（ＭＯＭＥＳ）、ＤＮＡ芯片等将得到突飞猛进的发展。１９９９年的微电子技术将在超微细光刻技术、铜互连及低κ互连绝缘介质、高κ栅绝缘介质、ＳＯＩ技术。