摘要
报道了金刚石膜的低电场、大电流阴极发射电流现象。总结了几种不同类型样品结构的发射机理。提出了增强发射电流、提高发射稳定性的方法。综述了各种影响发射电流的因素，提出了较为统一的发射电流表达式，使得金刚石膜的发射电流符合Ｆ－Ｎ理论。
The phenomenon of large cathode emission current of diamond in a low electric field is reported,and the several emission mechanisms are summarized.There are many factors that influence the current.To fit in the F N theory,we put forward a modified expression.
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期55-57,64,共4页
Semiconductor Technology
