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国际半导体技术发展路线图(ITRS)2009年版综述(5)

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摘要 4.7新兴材料研究 2009年"新兴材料研究"一章是2007版的更新。2009年的"新兴材料研究"一章已经重新组织,针对不同的应用来考察材料,而2007版的"新兴材料研究"一章则根据未来的路线图需求来考察材料及其可能的应用。
作者 为国
出处 《中国集成电路》 2010年第6期10-21,共12页 China lntegrated Circuit
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