摘要
简要介绍微机电系统在各个领域的应用。
Applications of micro-electro-mechanical systems in a varety of areas are introduced.
出处
《测控技术》
CSCD
1999年第1期13-15,共3页
Measurement & Control Technology
关键词
微机电系统
微传感器
微执行器
微机械
微结构
MEMS, microsensors and microactuators, electronic noses, micromachines and mi-crostructures
