摘要
介绍了硅微型扭摆式静电力平衡加速度计的工作原理、结构设计、制备技术及测试方法,这对于研制硅微型加速度计具有一定的参考价值。
The operation principle, construction design,preparaion technologies and testing methods of the ndcrosilicon electrostatically force-balanced accelerometer withtorsional pendulum are introduced. There is the certain reference value to develop a ndcro-silicon accelerometer.
出处
《测控技术》
CSCD
1999年第1期19-21,共3页
Measurement & Control Technology
关键词
硅微加速度计
制备
测试
加速度计
micro-silicon accelerometer, preparation,testing