低压等离子体清洗：一种用于严格清洗的工艺
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3葛绪雷,滕浩,郑轶,马景龙,张伟,毛婧一,陈黎明,王兆华,李玉同,蒋刚,贺端威,魏志义.飞秒激光啁啾脉冲放大中压缩光栅的等离子体清洗[J].中国激光,2012,39(4):27-30. 被引量：5
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5聂磊,蔡坚,贾松良,王水弟.微电子封装中等离子体清洗及其应用[J].半导体行业,2005(6):63-66. 被引量：3
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6李绪平,祖小涛,袁晓东,蒋晓东,吕海兵,郑万国,唐灿,李珂,向霞,郭袁俊,徐世珍,袁兆林.CO_2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值[J].强激光与粒子束,2007,19(10):1739-1743. 被引量：8
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10王依,卢启鹏,高云国.碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响[J].中国激光,2017,44(3):164-169. 被引量：1
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