现代椭偏光谱学的回顾与展望被引量：8

An Overview and Prospect on Modern Spectroscopic Ellipsometry

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摘要本文回顾了独具特色的椭偏光谱学近一个世纪的历史发展，综述了椭偏光谱学的应用现状，指出了其前沿研究领域，并对这一古老而又年轻的光谱学分支作了展望。 About one century history of novel spectroscopic ellipsometry(SE) is reviewed.Its classification,applications and new developments are introduced and described in detail.

作者陈篮莫党

机构地区中国人民解放军广州通信学院基础教研室中山大学物理系

出处《光谱实验室》 CAS CSCD 1999年第1期19-23,共5页 Chinese Journal of Spectroscopy Laboratory

关键词材料光学特性椭圆偏振光谱 Spectroscopic Ellipsometry,Materials,Optical Characteristic.

分类号 O657.3 [理学—分析化学]

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光谱实验室

1999年第1期

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