摘要
基于对传感器测量系统精度影响因素的分析,利用数字合成、相敏检波、相位预调整技术改善了电感式传感器测量系统的精度,研制了差动式电感传感器。实验表明,利用该技术实现了高精度电感式传感器测量系统的设计,使该系统达到深亚微米测量精度。
Basing on analyzing the factors of influencing the precision of sensors measurement system,the precision of inductive sensors measurement system is improved by employing digital synthetic technology,phase-sensitive detection and phase pre-adjustment technology.Differential inductance sensor is developed.The experiment result shows that inductive sensors measurement system with deep sub-micron precision can be carried out by using this kind of technology.
出处
《工具技术》
2010年第6期88-90,共3页
Tool Engineering
基金
北京市属高等学校人才强教计划资助项目(PHR200906210)
北京物资学院青年基金项目(2008XJQN009)
北京市教育委员会科研基地建设项目(WYJD200902)
关键词
电感式传感器
数字合成技术
相敏检波
相位预调整
inductive sensors
digital synthetic technology
phase-sensitive detection
phase pre-adjustment
