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可灵活地提高处理能力的高速激光/压电自动聚焦系统
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摘要
Motion X和PI已经开发了一种新型的激光系统。它将MotionX的高带宽自动聚焦传感器与PI的高速压电驱动的PIFOC@目标和Z轴定位器结合在一起.从而在自动聚焦响应.稳定性和准确性取得了重要突破。模块化和可配置的架构,可避免图像质量下降.而且适用于工业用和定制的显微镜.
出处
《工业设计》
2010年第6期17-17,共1页
Industrial Design
关键词
自动聚焦系统
激光系统
压电驱动
能力
图像质量
稳定性
定位器
传感器
分类号
TP368.1 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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