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金属硅化物的应用与发展 被引量:36

Development and Applications of Metal Silicides
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摘要 回顾了金属硅化物在电热元件、高温抗氧化涂层以及集成电路电极薄膜等功能元器件方面的应用、存在的问题和改进的措施。 The present status of metal silicides for use as heating elements, high temperature oxidation resistant coatings as well as thin films for largescale integrated circuit applications are reviewed. Some applications problems and solutions to them are discussed. Research and development of the metal silicides as a new type of high temperature structural materials are also overviewed.
出处 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期10-13,共4页 Rare Metal Materials and Engineering
关键词 金属硅化物 合金化 复合材料 功能硅合物 metal silicide, alloying, composite, application, development
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同被引文献276

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