摘要
提出了一种新型结构的硅微热致动泵，对该泵相关的微机械关键加工工艺进行了综述分析和试验研究。
A thermo driven sillicon micropump with novel structure is presented.The fabrication processes of this micropump are analyzed in summarize and measured in individual experiments.
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期39-42,共4页
Journal of Mechanical Engineering
基金
国家自然科学基金重点资助项目
