国内首台大产能高端LED芯片制造用ICP刻蚀机交付使用

近日，北京电子控股公司所属北方微电子公司开发生产的ELEDETM330高密度等离子ICPN蚀机完成组装调试，正式交付客户使用。ELEDETM330是北方微电子半导体刻蚀技术在LED领域的成功扩展，该设备的成功上线，标志着国产LED刻蚀设备已得到主流生产线的认可，使我国高端LED设备的国产化水平得到了新的提升。