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准分子激光器的新应用 被引量:5

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摘要 从80年代初以来,准分子激光器提供的高功率、短波长紫外脉冲一直应用于科学、医学和工业部门.尽管使用强腐蚀性的卤素气体,但现在准分子激光器坚固耐用,能够满足各种工业应用的需要.到90年代,在光刻和材料加工方面,准分子激光器越来越重要.同时。
作者 王广昌
出处 《光电子技术与信息》 1999年第1期38-40,共3页 Optoelectronic Technology & Information
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引证文献5

二级引证文献24

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