我国首台自主知识产权12英寸半导体设备进入韩国市场

位于上海浦东张江高科技园区的盛美半导体设备（上海）有限公司12英寸45纳米半导体单片清洗设备，11日正式启运运往韩国知名存储器厂商海力士，这也是国内首台具有自主知识产权的高端12英寸半导体设备进入韩国市场。