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亚纳米级孔隙三维图像首次获得
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摘要
据物理学家组织网6月9日(北京时间)报道,美半导体研究公司与康耐尔大学的研究人员开发出一种新的方法,利用电子断层成像技术首次获得了亚纳米级的孔隙三维图像。科学家相信,对于半导体材料亚纳米级结构的深入了解,将会不断提高集成电路的性能,降低电能的消耗。
出处
《大众科技》
2010年第7期7-7,共1页
Popular Science & Technology
关键词
纳米级结构
三维图像
孔隙
半导体材料
北京时间
物理学家
研究人员
成像技术
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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