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亚纳米级孔隙三维图像首次获得

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摘要 据物理学家组织网6月9日(北京时间)报道,美半导体研究公司与康耐尔大学的研究人员开发出一种新的方法,利用电子断层成像技术首次获得了亚纳米级的孔隙三维图像。科学家相信,对于半导体材料亚纳米级结构的深入了解,将会不断提高集成电路的性能,降低电能的消耗。
出处 《大众科技》 2010年第7期7-7,共1页 Popular Science & Technology
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