硅工艺及微加工 （续）
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1刘宝胜.准分子激光器与微加工[J].激光与光学,1989(7):22-24.
-
2奚居雄.准分子激光器进展与微加工[J].光电子技术与信息,1995,8(3):27-30.
-
3何大强.微电子技术的崛起[J].北京电子,2000(11):20-21.
-
4张粹伟,晴天.微加工准分子激光器[J].激光与光电子学进展,1996,33(1):15-19. 被引量：1
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5有机封装材料的发展充满机遇[J].集成电路应用,2008(5):33-34.
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6友清.用准分子激光进行微加工[J].激光与光电子学进展,1998,35(8):30-33.
-
7Gonsc.,M,楼祺洪.以紫外激光进行微加工[J].强激光技术进展,1996,6(4):42-46.
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8赵俊民,刘莉.光电技术中的微光学与微加工[J].西北光电,1994(1):10-12.
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9265尺寸对微加工多晶硅薄膜的机械特性和可靠性分析的影响[J].电子产品可靠性与环境试验,2002(6):65-65.
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10宪华.准分子激光用于微加工[J].国外激光,1989(5):33-35.
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