摘要
研究应用等离子体溅射方法制备钯 银合金复合膜 ,并用电子显微镜和高温气体渗透测定来表征膜的质量 .用sol gel方法在工业微滤氧化铝陶瓷膜上沉积纳米孔γ Al2 O3 膜 ,以改善衬底表面的粗糙度 ,降低气相沉积过程中的阴影效应 .以改进钯 银合金膜的气密性为目标来优化等离子体溅射方法的沉积条件 (衬底温度及沉积压力等 ) .典型的钯 银合金复合膜具有氢渗透速率 :0 .0 36× 10 -5 ～ 1.17× 10 -5cm3 /cm2 ·s·Pa ,氢对氮的分离选择性 :5 1.5～ 10 0 0 ,测试条件 :温度为 35 0～ 45 0℃ ,膜两侧压力降为 10 4～ 10 5
出处
《中国科学（B辑）》
CSCD
北大核心
1999年第2期174-180,共7页
Science in China(Series B)
基金
国家自然科学基金资助项目 !(批准号 :2 9392 0 0 3)
中国科学院大连化学物理研究所与德国Fraunhofer Institute for Interfa cialEngi
