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面向IC芯片的精密立体视觉测量检测平台

Precise Measurement of Stereo Vision Inspection Platform for IC Chip
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摘要 本文综述了国内、外立体视觉检测技术和IC芯片视觉检测设备的发展现状,提出了基于条纹结构光的立体视觉检测方法,并将其应用于IC芯片的测量,结合2D视觉,实现了IC芯片的精密检测平台。 This paper reviews the domestic and foreign stereoscopic vision detection technology and the IC chip,the development of visual inspection equipment status stripe structured light is proposed based on three-dimensional visual inspection methods,and applied to the measurement of IC chips,combined with 2D vision to achieve the IC chip precision measurement system.
出处 《计算机光盘软件与应用》 2010年第8期41-41,共1页 Computer CD Software and Application
关键词 立体视觉 机器视觉 自动光学检测 IC芯片检测 Stereo vision Machine vision Automatic optical inspection IC chip testing.
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