摘要
介绍了一种三维纳米级微定位系统．该系统可用于各种扫描探针显微镜（SPM）探针和样品的微定位，探针可在样品表面10mm×10mm区域内定位，重复定位精度小于100nm，在高度方向，探针可顺利地进入样品表面100nm区域内．
出处
《机械工程师》
北大核心
1999年第3期44-46,共3页
Mechanical Engineer
基金
国家自然科学基金
同被引文献11
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