摘要
本文根据表面轮廓调制原理，采用计算机控制的单模光纤探针扫描技术及相应的信号处理电路，提出了智能化光纤探针式轮廓仪。文中对仪器构成原理的有关理论基础及关键技术进行了介绍，最后利用本测量技术进行了实验测量，给出了实验结果及误差分析。
An intelligent optical profilometer using a single mode fiber probe is reported in this paper. Its construction,basic theory,key technique and experiments are detailed in the paper.
出处
《电子测量与仪器学报》
CSCD
1999年第1期24-29,共6页
Journal of Electronic Measurement and Instrumentation
基金
国家自然基金!59875065
关键词
单模光纤探针
表面粗糙度
测量技术
Roughness
Single mode fiber probe
Profile modulation
Intelligent
