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机械泵—扩散泵二级真空系统常见故障的分析与排除
被引量：
4
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摘要
以日立公司ＨＵＳ－５ＧＢ镀膜仪为例，总结了归纳了机械泵－扩散泵二级真空系统的常见故障，逐一分析了它们的起因，并提出了相应的排除方法。
作者
韩咏
机构地区
中国地质大学矿物岩石材料国家专业实验室
出处
《实验技术与管理》
CAS
1999年第2期123-124,共2页
Experimental Technology and Management
关键词
机械泵
扩散泵
真空系统
故障分析
镀膜仪
分类号
TB753 [一般工业技术—真空技术]
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