摘要
文中对近年来国内外关于微机械加工工艺表面形貌模拟的三维仿真模型及算法进行了较为详细的介绍与比较,并辅以实例的仿真结果,以使对微机械加工的三维工艺仿真有较全面的认识。
Micro-manufacture develops MEMS technology in the recent decade.In this manufacture,3D topography simulations are important to designing the fabrications and devices of MEMS.New developments of models of and algorithms for three-dimensional topography simulation in recent years are introduced and compared,with some simulated samples enumerated.
出处
《电子科技》
2010年第8期1-4,共4页
Electronic Science and Technology
基金
国家自然科学基金资助项目(60806028)
安徽省教育厅省级自然科学研究计划重点基金资助项目(KJ2008A105)
东南大学MEMS教育部重点实验室开放研究基金资助项目
关键词
表面形貌仿真
三维
算法
topography simulation
three-dimensional
algorithm
