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SEMI发布8项新技术标准

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摘要 SEMI近日发布了8项应用于半导体、MEMS、FPD和光伏制造产业的新技术标准。这些新的标准由参与SEMI国际标准项目的设备材料供应商、器件制造商的技术专家开发制定，这些新标准是：

出处《电子质量》 2010年第8期60-60,共1页 Electronics Quality

关键词技术标准 SEMI MEMS 制造产业设备材料标准项目技术专家半导体

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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电子质量

2010年第8期

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