基于比对定量的氦质谱正压检漏方法

主要讨论了运用累积装置进行示踪气体积累以进行正压检漏的方法,通过比对定量,可实现氦质谱正压检漏中的定量检测。此外,还针对生产中常见的被检产品总结了几种检测方法。