Veeco改进样品的3D动态测量能力

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摘要 Veeco Instruments公司已为其新款Wyko NT9000光轮廓仪推出了In—MotionTM测量包。该测量包扩展了Veeeo显微镜对微器件，如微电子机械系统（MEMS）的3D测量能力，同时也增强了对样品表面特性（表面特性会随时间而变化）的表征能力。In—Motion系统可以测量所有静态的3D参数，如关键尺寸、缺陷、形状和粗糙度；

出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第8期522-522,共1页 Micronanoelectronic Technology

关键词测量能力 3D 样品微电子机械系统表面特性 ts公司关键尺寸轮廓仪

分类号 TH-39 [机械工程]

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1分光光度计[J].光机电信息,2002(10):54-54.
2甘幼澄.FISONS Instruments公司提供全面的分析仪器[J].国外分析仪器技术与应用,1991(2):78-79.
3覃辛华.安全：叉车与行人分离[J].起重运输机械,2006(8):89-89.
4赵千捷.Universal Robots公司荣获丹麦最佳企业奖[J].工程机械,2013,44(4).
5数字式硬度计[J].橡胶参考资料,2006,36(2):18-18.
6林志,金建灵,崔新发,林均品,申亮,王小燕.Nano Indenter Ⅱ纳米显微力学探针[J].现代仪器,1999,35(5):32-33. 被引量：1
7杨大谦,林家春,石照耀.锥齿轮传动形性测试仪的设计[J].机电工程,2016,33(4):401-405. 被引量：2
8黄元昌（编译）.超声波（Ultrasonic）疲劳试验机[J].橡塑机械时代,2007,19(11):21-21.
9罗龙清,史红兵,夏智,何美清.基于金属磁记忆三维曲面相似度的疲劳损伤定量评估[J].压力容器,2016,33(1):62-66. 被引量：3
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微纳电子技术

2010年第8期

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