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高冲击压阻式加速度传感器

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摘要高冲击微机械压阻式加速度传感器是典型的微机械产品,具有体积小、量程大、频带宽、直流响应等特点,在需要高冲击信号测量的场合有重要应用价值。其基本工作原理是以半导体的压阻效应为基础,常用梁岛结构,

出处《信息与电子工程》 2010年第4期502-502,共1页 information and electronic engineering

关键词压阻式加速度传感器高冲击机械产品信号测量压阻效应工作原理微机械体积小

分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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信息与电子工程

2010年第4期

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