多晶硅制备的一体化电气系统设计及应用

基于改良西门子法多晶硅生产方式,设计了一套集启动装置和还原装置一体化的多晶硅还原炉电气系统,并实现远程集中控制,采用了基于电流和温度反馈两种控制变量设计控制算法,实现了在不同温度条件下电气控制系统实时自适应调节。