用绝对干涉测量法校准复曲面和二次曲面的研究

1 前言光学元件表面的几何形状可以通过干涉测量法非常精确的检测出。一个从所周知的例子就是应用玻璃样板来检测球面。数字化的干涉测量法通常用来获得数值化的检测结果。近来,用来测量圆柱透镜的干涉测量仪器已投入使用。尽管针对平面、球面和二次曲而已有相应的检测方法,但为了获得精确的结果所有的干涉仪都得进行校准。