HT2000系列空气质量流量传感器

HT2000系列空气质量流量传感器芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成：热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游；加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热，热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压，即本征赛贝克效应。