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部分微电子专用生产设备的发展概述
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摘要
目前,在某些工业国家,信息行业创造的产值已在国民经济总产值中占40%~60%,甚至国民经济总产值增长部份的65%都与微电子有关。微电子产业的发展速度、规模和科学技术水平已成为衡量该国实力的重要标志之一。
作者
金巩成
周依凡
机构地区
上海机电工业信息中心
出处
《上海机床》
1999年第2期6-11,共6页
Shanghai Machine Tool
关键词
微电子
集成电路
半导体
生产设备
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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上海机床
1999年 第2期
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