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摘要 美海军开发新型激光加工技术用于辐射探测器 海军研究实验室(NRL)的科学家已经开发了新的激光加工技术用于辐射探测器。开发的新工艺用于激光微机械孔阵列,采用了多种半导体,包括硅(Si)、碲化镉(CdTe)和磷化铟(InP)。
出处 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2010年第9期I0007-I0007,共1页 Laser & Optoelectronics Progress
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