高功率980nm VCSEL阵列输出特性研究

1引言 垂直腔面发射激光器（VCSELs）及阵列是一种垂直表面出光的半导体激光器，是光子学器件在集成化上的一个突破。输出光是圆光斑无像散、光束整形系统简单。VCSELs易于二维集成实现大功率输出，大面积、高密度集成的阵列可以通过微透镜阵列进行整形。激光腔面损伤阈值高，激光功率密度高。