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高功率980nm VCSEL阵列输出特性研究
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摘要
1引言 垂直腔面发射激光器(VCSELs)及阵列是一种垂直表面出光的半导体激光器,是光子学器件在集成化上的一个突破。输出光是圆光斑无像散、光束整形系统简单。VCSELs易于二维集成实现大功率输出,大面积、高密度集成的阵列可以通过微透镜阵列进行整形。激光腔面损伤阈值高,激光功率密度高。
作者
秦莉
宁永强
张金龙
刘云
王立军
机构地区
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2010年第9期I0027-I0028,共2页
Laser & Optoelectronics Progress
关键词
微透镜阵列
VCSELS
垂直腔面发射激光器
输出特性
高功率
半导体激光器
激光功率密度
光束整形
分类号
TN248.4 [电子电信—物理电子学]
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激光与光电子学进展
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