摘要
本文介绍一种低ｇ值双悬臂梁式硅压阻式加速度传感器新结构，通过理论分析与计算，说明该结构的硅压阻式加速度传感器具有良好的输出性能。
A double beam structure piezoresistive accelerometer is presented in this paper, it is prove that the accelerometer has high output properties through theoretical analysis and calculation.
出处
《西南工学院学报》
1999年第1期1-6,共6页
Journal of Southwest China Institute of Technology
基金
中国工程物理研究院院外科学基金
